制造芯片离不开光刻机，芯片制程越先进，对光刻机的性能要求也就越高，相应的，制造光刻机的难度也随之增大。 光刻机作为芯片生产的关键设备，被视为国家战略重器之一。它分为EUV和DUV两种类型。EUV光刻机的制造技术要求尤为严格，这属于我国技术领域的 ...