在ASML最新发布的2024年度报告中，首席执行官克里斯托弗·福凯指出，光刻技术将继续引领摩尔定律的发展，成为未来几年内的增长动力。然而，随着技术的演进，二维收缩（2D shrink）在实现上越来越具挑战性。这并非全然由于光刻技术的局限，而是因为我们已经接近了当前晶体管在逻辑和存储器应用上的极限。为了在继续推进二维收缩的同时开辟新局面，业界需要在架构与器件方面进行大胆创新。福凯强调，三维前道整合（ ...