在ASML最新发布的2024年度报告中,首席执行官克里斯托弗·福凯指出,光刻技术将继续引领摩尔定律的发展,成为未来几年内的增长动力。然而,随着技术的演进,二维收缩(2D shrink)在实现上越来越具挑战性。这并非全然由于光刻技术的局限,而是因为我们已经接近了当前晶体管在逻辑和存储器应用上的极限。为了在继续推进二维收缩的同时开辟新局面,业界需要在架构与器件方面进行大胆创新。福凯强调,三维前道整合( ...
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