超表面透镜的材料选择、制造技术和量产工艺及参数体现了其在光学领域的潜力。介质材料如TiO2和GaN适合可见光应用，金属如金和银用于红外等离子体应用。制造技术以EBL为原型制作，DUV和NIL为量产主选，NIL因成本效益高而更具优势。量产工艺需优化温度 ...