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Adv. Sci.: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所在金属有机框架 ...
和近常压X射线光电子能谱（NAP-XPS）技术，研究了EUV曝光下ZIF薄膜的化学变化及湿度对反应的影响，为EUV光刻胶的研发提供了新的思路。 图1要点：卤代ZIF薄膜的直接EUV光刻图案化。(a) ZIF-71和ZIF-8_Cl的晶体结构示意图及对应的有机配体结构，(b) ZIF 薄膜的无光刻胶 ...