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佳能最新纳米压印光刻NIL系统交付得克萨斯，技术革新引领未来？
此次佳能的加入，无疑将为该联盟注入新的活力。 据了解，佳能的FPA-1200NZ2C系统拥有卓越的图案化能力，可实现最小14nm线宽的精细刻画，并支持5nm ...