据路透社报道，半导体大厂 英特尔 近日表示，半导体设备大厂阿斯麦的首批两台尖端高数值孔径（High NA）光刻机已在其工厂正式投入生产，且早期数据显示，这些设备的性能比之前的机型更可靠。